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Modification des propriétés mécaniques et caractérisation des surfaces à l'échelle nanométrique [Mechanical properties modification and characterization of surfaces at the nanoscale]

Le développement et le perfectionnement des NEMS et MEMS (Nano et Micro ElectroMechanical Systems) devraient mener à des développements spectaculaires dans le domaine des capteurs et actionneurs pour les technologies de l'information, la médecine et la santé, les secteurs du transport et de l'énergie. Il est clair que le passage aux échelles micro et nanométriques implique des modifications importantes de la fabrication et de la production des matériaux, ainsi que de la modélisation et la conception des dispositifs individuels et des systèmes complets. Nous proposons d'étudier une approche de développement de N-MEMS basée sur des matériaux conventionnels (alliages métalliques, céramiques et polymères). Une approche de ce type apporte de nouvelles opportunités et nous donne une plus grande palette de matériaux disponible. L'objectif général à long terme est de créer un pôle d'excellence dans le domaine de la micromécanique combinant la recherche fondamentale et les applications. L'objectif à court terme est de fournir la base pour une compréhension approfondie des phénomènes grâce à l'étude des caractérisations et modifications de surfaces à l'échelle nanométrique. [A new field of interest is the use of metallic materials in N-MEMS (Nano and Micro ElectroMechanical Systems) application because of their interesting mechanical and wear properties compared to the widely used silicone. The nanoscale world obeys to different rules than the macroscopic one. Due to the extreme down-scaling many practical problems are encountered in microhandling of small parts. These problems must be studied and solved in order to be able to design and produce reliable micromechanical tools. The improvement of any MEMS design needs an inter-disciplinary approach to solve related problems situated somewhere in the common domain between physics, mechanics and material science. The main goal of this study is to create a center of excellence in the micromechanics field. The short term aim is to develop techniques for characterizing the mechanical properties of small volumes of material.]



responsable


Marie-Paule DELPLANCKE - OGLETREE


disciplines et mots clés déclarés


Chimie

mems nanoindentation nems surface